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DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)DH900DZX使用說(shuō)明書

該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。

　　◆ 真空室：鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式、前開(kāi)門結(jié)構(gòu)；

　　◆ 抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵：前級(jí)泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150； 擴(kuò)散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）；

　　◆ 極限真空：5×10-4Pa；恢復(fù)真空：5×10-3 Pa（小于20min）；

　　◆ 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；

　　◆ 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源，條形離子源（選配）；

　　◆ 膜厚測(cè)量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)（選配）；

　　◆ 進(jìn)氣系統(tǒng)：自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)；

　　◆ 操作方式：手動(dòng)按鍵式；控制系統(tǒng)配置：研華工控機(jī)，80G硬盤，512內(nèi)存+日本三菱PLC；10英寸液晶顯示觸摸屏界面；

　　◆ 旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具，速度從 0～15r/min 無(wú)級(jí)可調(diào)；

　　◆ 工件烘烤：室溫～300℃；

　　◆ 供電電源:  三相380V，50Hz。

　　◆  特殊規(guī)格可定制。

DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)DH900DZX使用說(shuō)明書

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